|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
電動物鏡轉換器切換倍率和觀察方法
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進行納米級觀測。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,先進光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發現觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC)
觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
明視場觀察(IC元件)
微分干涉(DIC)觀
激光微分干涉(DIC)觀察
放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速,正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機,所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優異的性能,所以能夠高效輸出最佳結果。
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發揮了光學觀察的特長, 除了最常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
BF 明視場
最常使用的觀察方法。在觀察中真實再現樣品的
顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。
DIC 微分干涉
對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差,
添加明暗對比使之變為立體可視。適用于觀察金
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕
或異物等。
簡易偏振光
照射偏振光(有著特定振動方向的光線), 使樣
品的偏光性變為肉眼可視。適用于觀察金相組織、礦物、半導體材料等。
HDR 高動態范圍
使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成,
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此
外,還可以強調紋理(表面狀態),進行更精細的
觀察。
LSM部分 | 光源、檢出系統 | 光源:405 nm半導體激光、檢出系統:光電倍增管 | ||
總倍率 | 108~17,280X | |||
變焦 | 光學變焦:1~8X | |||
測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm | |
正確性 | 測量值的±2%以內 | |||
高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | ||
行程 | 10mm | |||
內置比例尺 | 0.8nm | |||
移動分辨率 | 10nm | |||
顯示分辨率 | 1nm | |||
重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm | |||
正確性 | 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度) | |||
彩色觀察部分 | 光源、檢出系統 | 光源:白色LED、檢出系統:1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
變焦 | 碼變焦:1~8X | |||
物鏡轉換器 | 6孔電動物鏡轉換器 | |||
微分干涉單元 | 微分干涉滑片:U-DICR、內置偏振光片單元 | |||
物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
XY載物臺 | 100 x 100 mm(電動載物臺) | |||
SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* | ||
位移檢出系統 | 光杠桿法 | |||
光源 | 659 nm半導體激光 | |||
檢出設備 | 光電檢測器 | |||
最大掃描范圍 | X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm | |||
安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調整。 | |||
系統 | 總重量 | 約440 kg(不包含電腦桌) | ||
I額定輸入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |