OLS4500為您帶來最新的解決方案
實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。
電動物鏡轉換器切換倍率和觀察方法
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元??梢詿o縫切換倍率和觀察方法,不會丟失觀察對象。此外,該款顯微鏡可以進行納米級觀測。
涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發現觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,先進光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發現觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC)
觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
明視場觀察(IC元件)
微分干涉(DIC)觀
激光微分干涉(DIC)觀察
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速,正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機的機型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應對新樣品。
OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機,所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優異的性能,所以能夠高效輸出最佳結果。
OLS4500實現了無縫觀察和測量
【發現】可以迅速發現觀察對象
使用光學顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發揮了光學觀察的特長, 除了最常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
BF 明視場
最常使用的觀察方法。在觀察中真實再現樣品的
顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。
DIC 微分干涉
對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差,
添加明暗對比使之變為立體可視。適用于觀察金
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕
或異物等。
簡易偏振光
照射偏振光(有著特定振動方向的光線), 使樣
品的偏光性變為肉眼可視。適用于觀察金相組織、礦物、半導體材料等。
HDR 高動態范圍
使用不同曝光時間拍攝多張影像并進行影像合成,
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此
外,還可以強調紋理(表面狀態),進行更精細的
觀察。
主機 規格
LSM部分 | 光源、檢出系統 | 光源:405 nm半導體激光、檢出系統:光電倍增管 | ||
總倍率 | 108~17,280X | |||
變焦 | 光學變焦:1~8X | |||
測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm | |
正確性 | 測量值的±2%以內 | |||
高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | ||
行程 | 10mm | |||
內置比例尺 | 0.8nm | |||
移動分辨率 | 10nm | |||
顯示分辨率 | 1nm | |||
重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm | |||
正確性 | 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度) | |||
彩色觀察部分 | 光源、檢出系統 | 光源:白色LED、檢出系統:1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
變焦 | 碼變焦:1~8X | |||
物鏡轉換器 | 6孔電動物鏡轉換器 | |||
微分干涉單元 | 微分干涉滑片:U-DICR、內置偏振光片單元 | |||
物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
XY載物臺 | 100 x 100 mm(電動載物臺) | |||
SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* | ||
位移檢出系統 | 光杠桿法 | |||
光源 | 659 nm半導體激光 | |||
檢出設備 | 光電檢測器 | |||
最大掃描范圍 | X-Y:最大 30 μm x 30 μm、Z:最大 4.6 μm | |||
安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調整。 | |||
系統 | 總重量 | 約440 kg(不包含電腦桌) | ||
I額定輸入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |

